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  • 中国科学院大学集成电路学院2023级开学典礼隆重举行 中国科学院大学集成电路学院2023级开学典礼隆重举行
    2023年9月4日上午，中国科学院大学（以下简称“国科大”）集成电路学院在雁栖湖校区礼堂隆重举行2023级新生开学典礼。国科大副校长金德鹏教授、中国科学院微电子研究所副所长李泠研究员、集成电路学院副院长焦建彬教授、中国科学院大学电子集成电路...
  • 韦亚一教授课题组在近场光学邻近效应的研究中取得重要进展 韦亚一教授课题组在近场光学邻近效应的研究中取得重要进展
    表面等离子体光刻(Plasmoniclithography)作为一种近场成像技术，因具有可打破衍射极限的特性，能够为发展高分辨率、低成本、高效、大面积纳米光刻技术提供重要方法和技术途径，是下一代光刻技术的主要候选方案之一。目前，虽然已通过实...
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